技術(shù)編號(hào)：40811289
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種切割液及其制備方法，屬于半導(dǎo)體領(lǐng)域。背景技術(shù)、在現(xiàn)代工業(yè)制造中，尤其是在單晶硅片的切割過程中，切割液的選擇和使用對(duì)切割效率和成品質(zhì)量有著重要影響。切割液不僅能夠提供必要的冷卻和潤(rùn)滑，還能起到清洗切割過程中產(chǎn)生的碎屑和雜質(zhì)的作用。然而，隨著環(huán)保意識(shí)的增強(qiáng)和生產(chǎn)成本的不斷攀升，如何有效地利用切割液，減少浪費(fèi)，成為了一個(gè)亟需解決的問題。、一種有效的解決方案是對(duì)切割過程中產(chǎn)生的砂漿液進(jìn)行過濾和回收。砂漿液是在切割過程中，由于金剛線與硅棒的摩擦和切割產(chǎn)生的碎屑與切割液混合形成的。這個(gè)砂漿...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。