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一種四氟化鍺的純化裝置及純化方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:40817821

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本發(fā)明涉及一種四氟化鍺的純化裝置及純化方法,屬于化工。背景技術(shù)、四氟化鍺,分子式為gef,分子量為.,熔點為-℃,密度為.g/cm,其在常壓下冷卻立即固化,在-.℃升華。四氟化鍺為無色氣體,對熱穩(wěn)定,在空氣中強烈的發(fā)煙,具有像大蒜的刺激臭。其可溶于水,水解生成geo和hgef。、四氟化鍺在半導(dǎo)體、光纖通信等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用,可用于摻雜、離子注入等,具有重要的應(yīng)用價值。用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的四氟化鍺產(chǎn)品具有很高的純度,粗品四氟化鍺中通常會含有低沸點的氮氣、氧氣、...
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