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設(shè)有晶片輸送機(jī)械臂用嵌入座的大氣壓下晶片輸送模件及其實(shí)施方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):4151187

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本發(fā)明大體上是關(guān)于一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備的工藝模件(module)間的晶片輸送,尤其是關(guān)于用來(lái)建立該設(shè)備的特定模件及其實(shí)施方法,使在減少該設(shè)備所占面積的同時(shí),得以實(shí)施在半導(dǎo)體工藝設(shè)備各個(gè)工藝室之間的晶片輸送。背景技術(shù) 在半導(dǎo)體裝置的制造中,工藝處理室之間相互接合以輸送晶片或襯底(例如,在互連的工藝室之間輸送)。這般的輸送通過(guò)用來(lái)移動(dòng)晶片的輸送模件來(lái)運(yùn)作,例如,可通過(guò)互連的工藝室的相鄰壁部中所設(shè)置的狹縫或接口來(lái)予以輸送。舉例而言,輸送模件大多與各種襯底處理模件來(lái)...
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