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Amhs暫存區(qū)系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):4258279

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本發(fā)明公開(kāi)了一種AMHS暫存區(qū)系統(tǒng),其包括至少一個(gè)設(shè)于AMHS系統(tǒng)暫存區(qū)內(nèi)的暫存設(shè)備,暫存設(shè)備具有回轉(zhuǎn)式的回形暫存平臺(tái),暫存平臺(tái)由傳動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)而回形轉(zhuǎn)動(dòng),暫存平臺(tái)上具有多個(gè)用于放置硅片盒的暫存托架。本發(fā)明采用回轉(zhuǎn)式的回形暫存平臺(tái),實(shí)現(xiàn)暫存區(qū)各個(gè)位置硅片盒的移動(dòng),再通過(guò)設(shè)置硅片盒抓取裝置,可以快捷取放輸送車(chē)上的硅片盒、實(shí)現(xiàn)硅片盒在暫存平臺(tái)任意位置或不同暫存平臺(tái)之間的移動(dòng),節(jié)省輸送車(chē)存取行駛過(guò)程中的時(shí)間,從而提高了AMHS系統(tǒng)整體的效率。專(zhuān)利說(shuō)明AMHS暫存區(qū)...
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