技術(shù)編號(hào):4258279
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開(kāi)了一種AMHS暫存區(qū)系統(tǒng),其包括至少一個(gè)設(shè)于AMHS系統(tǒng)暫存區(qū)內(nèi)的暫存設(shè)備,暫存設(shè)備具有回轉(zhuǎn)式的回形暫存平臺(tái),暫存平臺(tái)由傳動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)而回形轉(zhuǎn)動(dòng),暫存平臺(tái)上具有多個(gè)用于放置硅片盒的暫存托架。本發(fā)明采用回轉(zhuǎn)式的回形暫存平臺(tái),實(shí)現(xiàn)暫存區(qū)各個(gè)位置硅片盒的移動(dòng),再通過(guò)設(shè)置硅片盒抓取裝置,可以快捷取放輸送車(chē)上的硅片盒、實(shí)現(xiàn)硅片盒在暫存平臺(tái)任意位置或不同暫存平臺(tái)之間的移動(dòng),節(jié)省輸送車(chē)存取行駛過(guò)程中的時(shí)間,從而提高了AMHS系統(tǒng)整體的效率。專(zhuān)利說(shuō)明AMHS暫存區(qū)...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。