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玻璃基板吸附用具及玻璃基板的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):4258298

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本發(fā)明提供一種能夠抑制玻璃基板的處理造成的損傷的。一種玻璃基板吸附用具,其具備流路(81);吸附部(60),其能夠利用范德瓦爾斯力吸附玻璃基板;壓力控制部(80a),其使所述流路(81)內(nèi)的流體壓力變化;片材(100),其在所述流路(81)與所述吸附部(60)之間通過(guò)所述流體壓力的變化而變形,以使在所述吸附部(60)和與所述吸附部(60)接觸的玻璃基板之間產(chǎn)生的吸附力變化。一種玻璃基板的制造方法,具有研磨玻璃基板的工序、清洗玻璃基板的工序、檢查玻璃基板的工...
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