技術(shù)編號(hào)：42967
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。專利摘要一種多晶硅生產(chǎn)中使用的硅芯及其硅芯組件，涉及多晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域，本實(shí)用新型所述的硅芯由若干相互并列排置的豎硅條組合而成，各豎硅條之間留有間隙，便于還原爐中的反應(yīng)氣體從硅條之間穿過(guò)。組合后的硅芯橫截面不同于傳統(tǒng)的實(shí)心結(jié)構(gòu)的硅芯，可以用較少的硅材獲得較大的結(jié)晶表面積，從而加快多晶硅的形成。其優(yōu)點(diǎn)在于1、硅條的拉制及組合簡(jiǎn)單、操作方便。2、生產(chǎn)效率高，后期使用成本低。專利說(shuō)明一種多晶硅生產(chǎn)中使用的硅芯及其硅芯組件[0001]技術(shù)領(lǐng)域[0002]本實(shí)用新型涉及多晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域，具體說(shuō)涉及一種多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中使用的硅芯及其...
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