技術(shù)編號：4336647
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。剪刀式升舉傳送自動控制儀器發(fā)明背景發(fā)明領(lǐng)域本發(fā)明的實(shí)施方式一般關(guān)于一種傳送自動控制儀器(robot)，其用于大面積平面媒介(例如大面積基板)的傳送與支撐。現(xiàn)有技術(shù)的描述平面媒介(例如玻璃、塑料或其它材料的矩形、可撓性片材)一般用于制造平面顯示器、太陽能裝置等應(yīng)用。用以形成平面媒介上的電子裝置、薄膜與其它結(jié)構(gòu)的材料藉由多種工藝而沉積在平面媒介上，這些工藝一般是在真空腔室中進(jìn)行，其需要多次處理平面媒介以將平面媒介移進(jìn)、移出真空腔室。為擁有更多可用以供沉積及電子...
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