技術(shù)編號(hào)：4339304
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種在潔凈的環(huán)境下夾持石英玻璃坩堝并使其移動(dòng)的石英玻璃坩堝 的搬運(yùn)(handling)裝置，特別是涉及一種能夠牢固地夾持石英玻璃坩堝并使其可靠地移 動(dòng)的搬運(yùn)裝置。而且，本發(fā)明涉及一種使用所述搬運(yùn)裝置的搬運(yùn)方法。背景技術(shù)一般來說，石英玻璃坩堝在制造后會(huì)被清洗、檢查，并經(jīng)包裝等之后出貨，但伴隨 半導(dǎo)體材料的高純度化，要求將對(duì)石英玻璃坩堝的污染抑制在最小限度，在將石英玻璃坩 堝用于單晶硅的提拉時(shí)，要進(jìn)一步利用超純水(ultrapure water)等進(jìn)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。