技術(shù)編號：4347358
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在半導(dǎo)體處理裝置中，使用被處理的仿真基板作為被處理基板的替代物，算出搬送機構(gòu)的搬送偏差的方法，和為進行該方法而構(gòu)成的半導(dǎo)體處理裝置。這里，所謂半導(dǎo)體處理是指，在半導(dǎo)體晶片或LCD(液晶顯示)或FPD(平板顯示)用玻璃基板等被處理基板上通過以預(yù)定的圖案形成半導(dǎo)體層、絕緣層或?qū)щ妼拥龋糜谠诒惶幚砘迳现圃彀雽?dǎo)體器件，或包括與半導(dǎo)體器件連接的配線、電極等的構(gòu)造物所實施的各種處理。背景技術(shù) 為了制造半導(dǎo)體器件，要對作為被處理基板的半導(dǎo)體晶片進行成膜、蝕...
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