技術(shù)編號：442102
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及適合作為酸生成劑的鹽，以及包含該鹽的化學(xué)放大型抗蝕組合物，所述酸生成劑用于化學(xué)放大型抗蝕組合物，該組合物用于半導(dǎo)體的精細(xì)加工中。背景技術(shù)用于采用光刻法的半導(dǎo)體微型制造的化學(xué)放大型抗蝕組合物包含酸生成劑，該酸生成劑含有有通過照射產(chǎn)生酸的化合物。在半導(dǎo)體微型制造中，希望形成具有改進(jìn)的圖案輪廓和高分辨率的圖案，并期望利用化學(xué)放大型抗蝕組合物提供上述圖案。最近，含有有三苯基锍1-金剛烷基甲氧基羰基二氟甲磺酸鹽和對-甲苯基二苯基锍全氟代辛烷磺酸鹽等的化學(xué)放大型抗蝕組合物(例如JP 2004-4561-A)被...
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