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光阻墻結構模塊化成型方法技術資料下載

技術編號:4472436

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本發(fā)明針對具有規(guī)則陣列結構的光阻墻結構提出一種模塊化成型方法,將光阻墻結構版圖分割為若干個相同的單元結構,首先制作單元結構,每個單元結構上都具有光阻墻的凸臺和凹槽,多個單元結構拼接在一起可以獲得整體的光阻墻結構圖形。最后將拼接整體進行裁切得到所需形狀的光阻墻結構。本發(fā)明的優(yōu)點是1.使用注塑成型方法可提高光阻墻結構的生產效率。2.將復雜的腔體結構剖分為若干相同的單元結構,通過將單元結構進行對準拼貼,可靈活快速的生產復雜結構的腔體結構,降低一體成型的加工成本。...
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