技術(shù)編號(hào)：4472937
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開(kāi)了一種基板真空干燥裝置，包括腔體、供氣部、排氣部和加熱部，所述腔體設(shè)置有至少一進(jìn)氣口和至少一個(gè)排氣口；所述腔體用于容置基板；所述供氣部通過(guò)第一傳輸通道與所述腔體的所述進(jìn)氣口連接，向所述腔體內(nèi)供給干燥氣體；所述排氣部通過(guò)第二傳輸通道與所述腔體的所述排氣口連接，用于抽出所述腔體內(nèi)的氣體，使所述腔體內(nèi)形成真空；所述加熱部設(shè)置于所述腔體內(nèi)，用于加熱所述基板。本發(fā)明有益效果如下通過(guò)在真空干燥腔體內(nèi)設(shè)置加熱盤(pán)，提高真空干燥的性能，減小基板在后續(xù)的干燥工藝所受...
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