技術(shù)編號：4510898
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是關(guān)于一種清除排氣管的裝置與方法，尤指一種適用于清除排氣管壁上的生成物的裝置與方法。背景技術(shù) 一般的制造廠房，不管是生產(chǎn)半導(dǎo)體元件、顯示面板、或是任何的化學(xué)藥品，都需架設(shè)排氣管路，以排出各種反應(yīng)廢氣或副產(chǎn)物，甚至某些需要氣體反應(yīng)物的生產(chǎn)機(jī)臺本身，例如化學(xué)汽相沈積機(jī)臺或蝕刻機(jī)臺，亦需架構(gòu)一套將反應(yīng)廢氣或廢物排除至廠務(wù)端的管路，以便生產(chǎn)機(jī)臺可正常運(yùn)作。舉例來說，當(dāng)蝕刻機(jī)臺對產(chǎn)品進(jìn)行蝕刻制程時，會產(chǎn)生大量的有毒氣體，因此必須以幫浦將這些有毒氣體經(jīng)由管路導(dǎo)入...
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