技術(shù)編號：4527817
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及一種新型高頻電感槍的冷卻裝置。用環(huán)烷酸油冷卻氮化矽陶瓷管 和與電感線圈外壁銅管換熱，提高耦合效率。背景技術(shù)公知的電感耦合等離子體的耦合效率決定于等離子體半徑與電感線圈半徑的比 例。比例越大耦合效率越高。由于電感線圈帶有高電壓，線圈間必須以高電壓絕緣體保護(hù) 防止線圈與線圈間產(chǎn)生短路擊穿電弧并與水隔離。高頻電感等離子是以管狀高溫陶瓷的絕 緣體包住，此陶瓷管過熱易過熱損壞。目前，電感高頻槍的冷卻是利用水流經(jīng)高溫的陶瓷外 壁和高電壓絕緣體間的環(huán)狀的間...
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