技術(shù)編號：4542910
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及降低或消除有害氣體排放的方法和設(shè)備。污染的氣體被分解、清潔和中和。本發(fā)明特別涉及適用于全球變暖氣體和其它難于分解的其他。這些氣體包括全氟化碳(PFC)、四氟甲烷(CF4)、六氟乙烷(C2F6)和許多其它消耗臭氧層的全球變暖和溫室氣體。 本發(fā)明也可以通過除去三氫化砷(AsH3)或三氫化磷(PH3)等氣體，從而用于分解半導(dǎo)體工藝中排放氣流的分解。清潔、中和和分解這些類型的氣體需要高溫。背景技術(shù)現(xiàn)有系統(tǒng)不能提供足夠的熱有效清除排出氣流中的全球變暖氣體。...
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