技術(shù)編號：4558203
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及一種具火焰通道的半導(dǎo)體廢氣處理裝置。背景技術(shù)半導(dǎo)體制程產(chǎn)生的廢氣中是有一種具強力侵蝕性的氟化性氣體，其需要在一千度(℃)高溫以上才能夠被熱分解成無害氣體，習(xí)用的半導(dǎo)體廢氣處理裝置在處理廢氣時，大都直接將燃?xì)庥深^座噴入廢氣處理槽內(nèi)，并在頭座的燃?xì)獬隹诙藢⑷細(xì)恻c燃，使廢氣處理槽內(nèi)能夠形成一高溫火焰，用以將廢氣中的氟化性氣體予以熱分解成無害的氣體，以達(dá)到凈化廢氣的目的。但是，上述廢氣處理槽內(nèi)的高溫火焰，是一種軟性火焰，其火焰燃燒密度較為松散，廢氣能...
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