技術(shù)編號(hào)：4597937
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制備工藝，尤其涉及一種擴(kuò)散爐的爐門結(jié)構(gòu)。 背景技術(shù)擴(kuò)散爐作為半導(dǎo)體制備過(guò)程中的重要設(shè)備之一，廣泛應(yīng)用于集成電路、電力電子、 太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)等行業(yè)。擴(kuò)散爐是民用重要設(shè)備，也是軍事材料生產(chǎn)的必不可少重要設(shè)備之一。擴(kuò)散爐的爐門需要較好的密封，目前使用的擴(kuò)散爐爐門結(jié)構(gòu)多與推舟進(jìn)行一體化 設(shè)置，將推舟推入石英管之后，爐門封閉爐口 ；推舟從石英管中推出后，擴(kuò)散爐的爐口處于 敞開(kāi)狀態(tài)。擴(kuò)散爐的爐口處于敞開(kāi)狀態(tài)，將導(dǎo)致?tīng)t內(nèi)熱量向外擴(kuò)散、增大擴(kuò)散爐的熱...
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