技術編號：4602600
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及濕制程，更具體地，涉及濕制程中對殘留在器件上的堿性溶液的處理。背景技術濕制程中，擴散前的清洗(下稱前清洗)和擴散后的清洗(下稱后清洗)都涉及利用堿性溶液清洗器件。以太陽電池為例，對晶體硅的處理就包括前清洗和后清洗。前清洗的制絨，目的在于去除硅片表面機械損傷層；清除表面的油污和金屬雜質；減少光的反射、增強硅片對太陽光的吸收，提高光生電流密度，從而提高太陽電池的轉換效率。簡單地說，制絨就是利用低濃度堿溶液對晶體硅在不同晶體取向上具有不同腐蝕速率的各向...
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