技術(shù)編號(hào):4610628
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種用于腐蝕性液體的加熱器,屬于液體加熱。 背景技術(shù)電加熱器大都采用陶瓷或石英,這種加熱材料不僅易破碎,且加熱效率不高,而且不能加熱酸、堿等強(qiáng)氧化劑的腐蝕性液體。一些用于加熱腐蝕性液體的電加熱器是將電熱材料設(shè)置在金屬套管內(nèi),金屬套管與電熱絲之間設(shè)有金屬氧化鎂,在金屬套管外壁涂上聚四氟乙烯,雖然電加熱器具有耐腐蝕性的特點(diǎn),但也存在加熱功率不高和維護(hù)保養(yǎng)不方便的缺陷,因此不適合半導(dǎo)體器件的化學(xué)腐蝕和清洗工藝中工業(yè)化產(chǎn)生的要求。為滿足半導(dǎo)體器件工業(yè)...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。