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用于腐蝕性液體的加熱器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):4610628

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本實(shí)用新型涉及一種用于腐蝕性液體的加熱器,屬于液體加熱。 背景技術(shù)電加熱器大都采用陶瓷或石英,這種加熱材料不僅易破碎,且加熱效率不高,而且不能加熱酸、堿等強(qiáng)氧化劑的腐蝕性液體。一些用于加熱腐蝕性液體的電加熱器是將電熱材料設(shè)置在金屬套管內(nèi),金屬套管與電熱絲之間設(shè)有金屬氧化鎂,在金屬套管外壁涂上聚四氟乙烯,雖然電加熱器具有耐腐蝕性的特點(diǎn),但也存在加熱功率不高和維護(hù)保養(yǎng)不方便的缺陷,因此不適合半導(dǎo)體器件的化學(xué)腐蝕和清洗工藝中工業(yè)化產(chǎn)生的要求。為滿足半導(dǎo)體器件工業(yè)...
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