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技術(shù)編號(hào)：4639912

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本實(shí)用新型涉及碳晶板生產(chǎn)設(shè)備，具體涉及一種碳晶板的熱壓裝置，包括能夠上下運(yùn)動(dòng)的上基座、位于上基座下方與其配合的下基座，上基座、下基座內(nèi)分別設(shè)置有盤式加熱器，在上基座下表面可拆卸的設(shè)置有導(dǎo)熱耐壓的上壓板，下基座上表面可拆卸的設(shè)置有與上述上壓板配合的導(dǎo)熱耐壓的下壓板，所述上壓板的下表面、下壓板的上表面平行。盤式加熱器能夠?qū)⑸匣?、下基座進(jìn)行加熱，并將熱量均勻的傳遞給上壓板、下壓板上，通過上壓板、下壓板能夠?qū)⑻季永喂痰臒釅河诓＠w基板之間，從而保證碳晶板的質(zhì)量；...
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