技術(shù)編號(hào):4640005
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型屬于氮化硅制備裝置領(lǐng)域,尤其涉及一種氮化硅用臥式真空燒結(jié)爐。氮化硅用臥式真空燒結(jié)爐,包括水平放置的爐體及與爐體連接的抽真空裝置,爐體一端與封蓋活動(dòng)連接,爐體內(nèi)設(shè)有燒結(jié)箱,爐體外設(shè)有氮?dú)夤蓿獨(dú)夤尥ㄟ^(guò)第一管道與燒結(jié)箱連接。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,操作方便,爐中放置、取出匣缽時(shí)方便且高效,安全性高。專利說(shuō)明氮化硅用臥式真空燒結(jié)爐[0001]本實(shí)用新型屬于氮化硅制備裝置,尤其涉及一種氮化硅用臥式真空燒結(jié)爐。背景技術(shù)[0002]現(xiàn)有技術(shù)中,在氮化硅燒結(jié)階段,...
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