技術(shù)編號(hào)：4675241
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)發(fā)明屬于一種硅片加工裝置，具體的是一種用于硅片加熱氧化工藝 的立式氧化爐中的反應(yīng)管。 背景技術(shù)反應(yīng)管是立式氧化爐系統(tǒng)中最關(guān)鍵的部件之一，硅片的工藝過程全部在 反應(yīng)管內(nèi)進(jìn)行，反應(yīng)管的設(shè)計(jì)將直接影響硅片氧化膜的質(zhì)量。已往的反應(yīng)管 結(jié)構(gòu)進(jìn)氣管只是兩根很細(xì)的石英管焊在反應(yīng)管外壁上，這種結(jié)構(gòu)不利于工 藝氣體的均勻預(yù)熱及均勻分布。偶管的設(shè)計(jì)上多采用每支熱偶用一個(gè)偶管， 這樣對(duì)于5個(gè)溫區(qū)的爐體來說，在反應(yīng)管的外壁上就要焊接5根偶管，此種 結(jié)構(gòu)不利于結(jié)構(gòu)緊湊，同時(shí)很難...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。