技術編號：4681050
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及一種熱處理裝置及其機械手裝置，尤其涉及一種密封熱處理裝 置及其機械手裝置。背景技術在大多數的平板顯示設備的生產過程中，基本上都需要使用到熱處理裝置。 對于這些熱處理裝置，目前現有的密封材熱處理裝置的構造如圖1所示，在框架11的底部設置有加熱裝置14，在加熱裝置14的上面依次以一定間隔放置多層放 置基板用的裝載層12，相應地，在框架11的一側設置有和所述裝載層12相對應 的可控門13，所述可控門13為取放基板用的縫隙狀的開口，所述基板通過機械手...
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