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技術(shù)編號：4691155

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本發(fā)明涉及一種發(fā)光半導(dǎo)體元件的制造裝置，尤其涉及一種發(fā)光半導(dǎo)體元件的烘烤設(shè)備。背景技術(shù)在發(fā)光半導(dǎo)體元件(例如發(fā)光二極管)封裝過程中，將若干個發(fā)光二極管晶粒固定于基板上，然后點膠將封裝層覆蓋發(fā)光二極管晶粒并烘烤固化封裝層，最終切割形成若干個發(fā)光二極管元件。通常，在點膠后將整個基板放入烤箱中進行烘烤加熱，從而固化發(fā)光半導(dǎo)體元件的封裝層。然，此種固化封裝層方法的加熱時間較長。發(fā)明內(nèi)容有鑒于此，有必要提供一種加熱時間較短且加熱均勻的用于烘烤發(fā)光半導(dǎo)體元件的箱體。一...
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