技術(shù)編號：4693940
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體材料干燥，尤其涉及硅料烘干設(shè)備。技術(shù)背景隨著半導(dǎo)體和太陽能行業(yè)的不斷發(fā)展壯大，硅料的需求量越來越大。硅料的純度 對最終產(chǎn)品的質(zhì)量至關(guān)重要，有些硅料表面附帶有很多雜質(zhì)，對之必須用酸洗的方法將表 面雜質(zhì)去除，然后再進(jìn)行清洗。清洗過的硅料在投爐前須經(jīng)過烘干處理，以去除附著在硅料 上的水份。常規(guī)的方法是將硅料用周轉(zhuǎn)箱分裝好后，以疊加方式裝入普通烘箱中，加熱器設(shè) 置在料箱的下方，通電加熱進(jìn)行烘干處理，采用常規(guī)的底部加熱烘箱進(jìn)行烘干，位于底層的 硅...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。