技術(shù)編號(hào)：4745173
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用水清洗空氣中的化學(xué)污染物質(zhì)而凈化空氣的空氣凈化方法，以及用于該方法的裝置。更具體地說(shuō)，本發(fā)明涉及給半導(dǎo)體，液晶裝置的制造工廠、制藥工廠、生命科學(xué)相關(guān)設(shè)備等的凈化室提供的空氣的空氣凈化方法和其所采用的空氣凈化裝置。背景技術(shù) 在半導(dǎo)體，液晶裝置的制造工廠、制藥工廠、生命科學(xué)相關(guān)設(shè)備等中，為了提高產(chǎn)品合格率或確保質(zhì)量，最好，不但去除過(guò)去的細(xì)微顆粒狀的污染物質(zhì)，而且還去除氣體狀化學(xué)污染物質(zhì)。作為這樣的化學(xué)污染物質(zhì)，例舉有，比如，鈉、鉀、鈣、硼等的無(wú)機(jī)金...
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