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技術(shù)編號：4832474

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本發(fā)明涉及一種，且特別是涉及一種化學(xué)機(jī)械研磨(chemical mechanical polishing, CMP)。 背景技術(shù)半導(dǎo)體制程中產(chǎn)生的廢水包括蝕刻廢水、反滲透廢水及化學(xué)機(jī)械研磨 廢水等，其中化學(xué)機(jī)械研磨廢水可以說是最難處理的廢水之一。由于化學(xué) 機(jī)械研磨廢水的組成十分復(fù)雜，且廢水中的納米級顆粒的粒徑很細(xì)微，再 加上顆粒濃度不高，使得化學(xué)機(jī)械研磨廢水不易處理。一般來說，化學(xué)機(jī)械研磨廢水主要可分為金屬類的化學(xué)機(jī)械研磨廢水 以及氧化膜類的化學(xué)機(jī)械研磨廢...
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• 李老師：水污染控制工程，固體廢物資源化
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