技術編號:4907893
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及氟光氣的生產裝置領域,尤其是一種以一氧化碳和氟氣為原料生產氟光氣的裝置。背景技術氟光氣又稱碳酰氟、羰基氟等,分子式一氧化碳氟氣,不燃,劇毒,具強刺激性,在水中分解放出劇毒的腐蝕性氣體,可用于半導體制造裝置的清洗氣和刻蝕氣,有機化合物的氟化氣和原料以及有機合成的中間體、氟化劑。中藍晨光院曾開發(fā)過氟光氣的生產裝置,并申請過專利ZL200420105773.8,但使用該專利生產氟光氣過程中,該裝置生產出的產品雜質含量較高,且裝置連續(xù)生產時間短,從而...
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