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由氮化鎵類化合物半導(dǎo)體的制造工序排出的廢氣的處理方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:4941214

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本發(fā)明提供。將廢氣與通過將堿金屬化合物添加于金屬氧化物而成的凈化劑接觸,從該廢氣中去除有機金屬化合物,然后在加熱下將去除后的廢氣與氨氣分解催化劑接觸,從而將氨氣分解為氮氣以及氫氣,進一步在加熱下將分解后的廢氣與鈀合金膜接觸,從而將透過鈀合金膜的氫氣回收。另外,與前述同樣地從廢氣中去除有機金屬化合物,然后對去除后的廢氣進行加壓處理以及基于熱泵的冷卻處理,將處理后的廢氣中所含的氨氣液化,從而與氫氣以及氮氣分離,將液化的氨氣回收。進一步,將前述的回收的氫氣、氨氣...
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