技術(shù)編號(hào):4942384
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于微流體控制領(lǐng)域,具體涉及一種自動(dòng)式微尺度氣液相分離器。在半導(dǎo)體硅基片上蝕刻出兩條微通道,分別作為氣液相進(jìn)口流道和氣相出口流道,兩條流道之間由肋條隔開;在微通道的下游、肋條的一側(cè)沿寬度方向蝕刻一排肋柱,肋柱的另一側(cè)為液相出口流道;在氣液相進(jìn)口流道、氣相出口流道和液相出口流道上方安裝蓋板進(jìn)行封裝。本發(fā)明克服了傳統(tǒng)微尺度相分離器需要對(duì)流道材料進(jìn)行表面處理或增加額外動(dòng)力來實(shí)現(xiàn)相分離的局限,利用流體的慣性力和氣液界面的表面張力作用,自動(dòng)實(shí)現(xiàn)氣液兩相分離效果...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。