技術(shù)編號:4968743
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明是有關(guān)于一種空氣過濾系統(tǒng)及其化學(xué)濾網(wǎng),且特別是有關(guān)于一種 具有纖維狀結(jié)構(gòu)與顆粒狀結(jié)構(gòu)的空氣過濾系統(tǒng)及其化學(xué)濾網(wǎng)。背景技術(shù)在現(xiàn)今科技社會中,許多的電子產(chǎn)品是以半導(dǎo)體芯片為重要核心的裝置。 這些半導(dǎo)體芯片必須在潔凈室的環(huán)境中制造,因此去除潔凈室環(huán)境中的微量氣態(tài)分子污染物(airborne molecular contaminant, AMC)是一件極為重要的工作。 圖1為現(xiàn)有技術(shù)一種活性碳顆粒濾網(wǎng)的局部結(jié)構(gòu)示意圖。請參考圖1, 為了去除潔凈室環(huán)境中的微量...
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