技術(shù)編號(hào)：4976996
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明總的涉及一種流體貯存和分發(fā)裝置，它包括一個(gè)具有長方 體形狀的流體貯存和分發(fā)容器，還涉及一種包含這樣的流體貯存和分 發(fā)裝置的集成氣箱組件。背景技術(shù)在近年來，基于吸附劑的流體貯存和分發(fā)裝置己經(jīng)進(jìn)入到半導(dǎo)體 制造應(yīng)用中，作為多種半導(dǎo)體制造設(shè)備作業(yè)的氣體供給。這種半導(dǎo)體制造作業(yè)包括但不限制于使用如三氣化硼、砷化三 氫、磷化氫和乙硼烷等氣體試劑的離子注入；使用多種有機(jī)金屬的初 級(jí)試劑氣體的含金屬膜的化學(xué)蒸鍍；以及利用如硅烷和光環(huán)硅烷氣體 等的硅元素試劑的硅絕緣...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。