技術(shù)編號(hào)：4978944
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及尾氣處理工藝，涉及一種改良西門子法多晶硅生產(chǎn)中殘液及尾氣處理工藝。 背景技術(shù)改良西門子法多晶硅生產(chǎn)過程中，會(huì)產(chǎn)生氯硅烷尾氣和高沸物殘液。如果對(duì)其處 理不慎，會(huì)產(chǎn)生十分嚴(yán)重的安全隱患及環(huán)境污染事故，因此如何處理上述兩種物質(zhì)至今仍 是多晶硅生產(chǎn)過程中十分棘手的問題。目前多晶硅生產(chǎn)廠家普遍采用的是雙塔串聯(lián)淋洗， 通過淋洗裝置將上述尾氣及殘液進(jìn)行處理(如圖l所示)尾氣及殘液從淋洗塔進(jìn)入，與淋 洗塔內(nèi)的淋洗劑進(jìn)行中和反應(yīng)。淋洗塔底部設(shè)有循環(huán)池地槽，收集廢液...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。