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用于處理全氟碳化物的物理和化學(xué)協(xié)同凈化系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:4979174

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本實用新型涉及一種廢氣的物理和化學(xué)協(xié)同凈化系統(tǒng),尤其涉及一種用于 處理全氟碳化物的物理和化學(xué)協(xié)同凈化系統(tǒng)。 背景技術(shù)隨著現(xiàn)代工業(yè)的蓬勃發(fā)展,溫室氣體排放量與日俱增。在眾多溫室氣體中,全氟碳化物(簡稱PFCs)因其具有低毒、化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定等特點,自二十世紀(jì)三 十年代被廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn),尤其是半導(dǎo)體制造業(yè)。然而,全氟碳化物在大 氣中具有較長的存在年限和強烈的紅外吸收能力,生產(chǎn)過程中未能完全利用的 高濃度全氟碳化物直接排放到大氣中將引起強烈的溫室效應(yīng),使全球平均...
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