技術編號：5021314
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及流體4諸存和分配系統(tǒng)，以及向例如向工業(yè)工藝i殳備 如半導體制造裝置、水處理裝置、天然氣儲存庫，等供應流體的方 法。背景技術在封裝的氣體的使用中，許多工業(yè)應用的常規(guī)做法是使用高壓 鋼氣瓶儲存、運輸和分配的各種氣體。在這些應用中，氣體是以壓 縮狀態(tài)儲存在氣瓶里，以便使用于分配和最終使用的可用的氣體的 存量最大化。由于這種壓縮氣體的壓力通常遠遠大于大氣壓，安全問題是使 用這種封裝件固有的，因為高壓容器的任何泄露將迅速擴散到容器 的周圍環(huán)境中。在氣體是危...
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