技術(shù)編號：5026922
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種水的凈化裝置,背景技術(shù)現(xiàn)今的半導(dǎo)體硅晶圓處理過程中，需要不斷的清洗硅晶圓，其硅晶圓清洗的目 的在于不破壞或劣化晶圓表面的前提下，去除晶圓表面的附著塵粒及化學(xué)不純物， 以得到潔凈的晶圓，而晶圓表面上常見的污染物種類有微塵、有機物、光阻劑、金 屬離子、原生氧化層等；硅晶圓使用化水溶液清洗溶劑清洗后， 一般皆使用大量的 去離子水(DI water)清洗，清洗之后會帶有大量的雜質(zhì)，所以需要后處理才能排放。現(xiàn)今的廢水處理方式一般是使用化學(xué)藥劑，使顆...
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