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技術(shù)編號：5031398

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本發(fā)明涉及一種空氣洗漆設(shè)備，特別涉及一種有效去除空氣中的不良?xì)怏w(如NH3、 SOx、 NDX)，借以使空氣達(dá)到符合無塵室要求的純凈度的空 氣洗滌設(shè)備。背景技術(shù)在芯片的制造過程中，不但需要精確地控制溫度、濕度，而且需要達(dá)到 無塵標(biāo)準(zhǔn)以及避免受到化學(xué)物質(zhì)干擾，那么要達(dá)到無塵潔凈的標(biāo)準(zhǔn)，就需要 對空氣質(zhì)量進(jìn)行控制。所以，無塵室中設(shè)有專用的空調(diào)設(shè)備，不但要除去空氣中不良的氣體， 同時，還需要提供適當(dāng)?shù)臐穸?，以防止因空氣太干燥而產(chǎn)生靜電感應(yīng)，也需 要同時提供適當(dāng)?shù)?..
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