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自硅晶圓切割廢油泥中回收再生油的處理裝置的制作方法技術資料下載

技術編號:5038464

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本實用新型涉及一種廢棄物的處理裝置,尤其是指一種可大量連續(xù)處理廢油泥, 以降低回收油成本,且符合環(huán)保要求的自硅晶圓切割廢油泥中回收再生油的處理裝置。背景技術在制造半導體芯片及太陽能板的產(chǎn)業(yè)中,將硅晶棒切割成厚薄均一的硅晶圓(片) 已屬于標準流程的一環(huán),其通常使用特殊的金屬線鋸(Wire Saw)為切割刀具,并采用高硬度的碳化硅(SiC)為研磨料,再輔以混有聚乙二醇(PEG)、二乙二醇(DEG)、丙二醇(PG)等礦物油酯為切削、冷卻液,借此,當金屬線鋸高速往...
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