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一種低溫等離子體接枝汽化儀的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:5039695

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本實用新型涉及一種接枝汽化的裝置,特別涉及一種用于將液體原料汽化并定量輸送到反應(yīng)腔,與低溫等離子體表面處理儀配套使用的低溫等離子體接枝汽化儀。背景技術(shù)材料表面改性處理技術(shù)是目前普遍使用的材料制備技術(shù)之一,其基本原理是在一定外界條件下,材料外部物質(zhì)與材料表面發(fā)生物理或化學(xué)反應(yīng),從而是材料表面狀態(tài)發(fā)生變化或在材料表面生產(chǎn)新的元素和新的基團,最終滿足實際應(yīng)用的需要。目前實現(xiàn)材料表面處理的方法通常為液相反應(yīng)法,由于液相反應(yīng)法存在能耗大,對環(huán)境有污染的缺點,急需一種...
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