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技術(shù)編號：5046418

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本發(fā)明涉及加熱裝置(heater)、系統(tǒng)及加熱方法，特別是，涉及氫氯化反應(yīng)(hydrochlorination)或氫化(hydrogenation)加熱裝置，且涉及加熱系統(tǒng)中的流體(stream)及產(chǎn)生三氯娃燒(trichlorosilane)的過程。背景技術(shù)三氯娃燒能通過根據(jù)下列反應(yīng)方程式氫化四氯化娃(silicon tetrachloride)而產(chǎn)生Si+2H2+3SiCl4 — 4HSiCl3 (I)反應(yīng)方程式(I)通常于高壓下完成，介于約250磅每...
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