技術(shù)編號：5050884
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型屬于三氯氫硅合成尾氣綜合回收利用裝置，特別是一種簡化了工藝流 程的三氯氫硅合成尾氣回爐燃燒回收利用裝置。技術(shù)背景 在三氯氫硅的合成生產(chǎn)中，三氯氫硅合成后的氣體經(jīng)冷卻、除塵、常壓冷凝后，大 部分三氯氫硅被冷凝下來，冷凝液(即三氯氫硅粗品)排入三氯氫硅粗品貯槽，未被冷凝下 來的氣體為三氯氫硅合成尾氣(尾氣中主要成分為氧氣、氮?dú)?、氫氣、氯化氫、三氯氫?。 現(xiàn)有如下幾種方法處理A、大部分小廠中，均采用直接將這一部分三氯氫硅合成尾氣送入水洗塔水洗，水 洗...
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