技術編號：5055714
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明關于一種過濾結構，尤指一種適用于一流體通道且其濾網交錯設置的過濾 結構。背景技術在許多機器設備中多有各種各樣的管路設計，以半導體工藝設備為例，通常以真 空泵對反應室進行抽氣，以維持反應室內氣體的組成穩(wěn)定及純凈度。請參閱圖1，其為根據 現(xiàn)有技術的一實施例的一真空工藝設備1的示意圖。真空工藝設備1包含一反應室12、二 氣源14、一抽氣管路16、一真空泵18及一濾網20。一工件2設置于反應室12內的載臺上， 工藝所需氣體自氣源14輸入至反應室12內。為了維...
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