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技術(shù)編號(hào)：5064158

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本實(shí)用新型涉及一種檢測(cè)設(shè)備，尤其涉及一種高效的IC托盤平整度檢測(cè)設(shè)備。背景技術(shù)半導(dǎo)體芯片托盤是通過注塑成型制造出的，給高耐熱塑料賦予剛性和導(dǎo)電性能的化合物產(chǎn)品。同時(shí)，半導(dǎo)體芯片托盤還是用于在設(shè)有芯片的狀態(tài)下，在特定溫度和時(shí)間內(nèi)，暴露于高溫工序(以下簡(jiǎn)稱烘烤)的產(chǎn)品。烘烤是對(duì)制造出的半導(dǎo)體產(chǎn)品進(jìn)行熱化過程的階段。在烘烤階段，將個(gè)別芯片疊層裝入托盤，并在熱風(fēng)烤箱內(nèi)設(shè)定的溫度為(120 ISO0C )和時(shí)間為(4 48個(gè)小時(shí))及重復(fù)次數(shù)為(I 4次)的條件下予以...
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