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技術(shù)編號(hào)：5075689

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本發(fā)明涉及一種通過(guò)從半導(dǎo)體的后處理步驟的背面研磨(back lapping)過(guò)程產(chǎn) 生的廢料漿中收集和提純硅粉以回收硅粉的方法，并且更特別地涉及采用以下過(guò)程回收硅 粉的方法用收集離心機(jī)從背面研磨過(guò)程產(chǎn)生的廢料漿中收集低純度硅粉；將從收集離心 機(jī)收集的硅粉與化學(xué)溶液混合以溶解雜質(zhì)；并且通過(guò)使用提純離心機(jī)將與化學(xué)溶液混合的 硅粉提純?yōu)楦呒兌裙璺?。背景技術(shù)一般地，半導(dǎo)體晶片工藝通常被分為三大步驟制備步驟、前處理步驟和后處理步馬聚ο前處理步驟指的是通過(guò)將多種膜層壓...
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