技術(shù)編號：5175647
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及化學(xué)蒸汽的輸送系統(tǒng)。具體地(然而并非限制)，本發(fā)明涉 及用于輸送汽化液體的受控制的蒸氣流的系統(tǒng)和方法。背景技術(shù)在許多處理環(huán)境中，有關(guān)不同的過程產(chǎn)生并且使用蒸汽(例如，水蒸 汽)。在消除來自制造過程(例如，半導(dǎo)體制造過程)的不良物質(zhì)的環(huán)境中， 例如，根據(jù)環(huán)境準(zhǔn)則和/或規(guī)則，試圖使用蒸汽輸送系統(tǒng)來將不合要求的副 產(chǎn)品轉(zhuǎn)換為安全的化合物以用于處理。作為特別的實例，在有關(guān)等離子處理設(shè)備中使用水蒸汽來將不合要求 的全氟化氣體轉(zhuǎn)化為包含二氧化碳的相對無害的成...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。