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一種三軸熱對(duì)流加速度傳感器芯片的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5264491

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本發(fā)明涉及一種用于消費(fèi)類電子產(chǎn)品、能檢測(cè)Z軸(上下方向)的加速度的三軸熱對(duì)流加速度傳感器芯片的制作方法,屬于硅微機(jī)械傳感器。背景技術(shù)目前,微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS,Micro Electro-Mechanical System)已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè),尤其是消費(fèi)類電子產(chǎn)品中,例如iPod、Whone、Sony PS3,以及Wii等游戲和娛樂(lè)系列消費(fèi)類電子產(chǎn)品,這些產(chǎn)品中都應(yīng)用了加速度傳感器作為動(dòng)作操控和接收裝置。在Wii 和PS3中,加速度傳感器可以靈敏地感測(cè)...
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