技術編號：5264592
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及半導體工藝，尤其涉及一種。背景技術現(xiàn)階段先進的半導體集成電路工藝已進入納米領域，并且晶體管的特征尺寸還將持續(xù)按比例縮小，在提高器件性能并降低單個晶體管成本的同時，對半導體工藝條件也提出了更高的要求，并且受量子效應的影響，器件的特征尺寸不可能無限地持續(xù)縮小，傳統(tǒng)的半導體材料、工藝將遭遇瓶頸，摩爾定律將失去對半導體工業(yè)的指導意義。研發(fā)新的材料、 新的工藝來替代現(xiàn)有的集成電路中材料和工藝已有迫切的需要。納米線、納米管等一維材料作為納米器件中必不可少的功...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。