技術(shù)編號：5264815
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種微機(jī)電裝置，尤其涉及應(yīng)用電容讀取技術(shù)的微機(jī)電裝置。背景技術(shù)微機(jī)電系統(tǒng)(MicroElectro Mechanical Systems,MEMS)為一個(gè)智能型微小化的系統(tǒng)，用來執(zhí)行感測、處理或致動的功能。由于微機(jī)電系統(tǒng)發(fā)展出可將兩個(gè)或多重領(lǐng)域的性質(zhì)，如電子、機(jī)械、光學(xué)、化學(xué)、生物或磁學(xué)等技術(shù)整合在單一或多個(gè)芯片中的技術(shù)，因此以微機(jī)電系統(tǒng)的技術(shù)制作出的裝置可大幅縮小傳統(tǒng)裝置的體積。舉例來說，請參考圖1，其顯示傳統(tǒng)的傾角計(jì)/傾角開關(guān)100，借著滾珠...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。