技術(shù)編號：5265057
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明特別涉及一種用于薄膜力學(xué)性能測試的微型拉伸測量組件及其制造方法，屬于微機(jī)械制造領(lǐng)域。背景技術(shù)隨著微納機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)的迅速發(fā)展，各種薄膜材料廣泛應(yīng)用于各種微納器件中。 但由于尺寸效應(yīng)的影響，當(dāng)器件小到微納尺度時(shí)，材料的力學(xué)性能與體材料性能相比有顯著不同，而且不同的制備方法可能會造成組織結(jié)構(gòu)不同而使其材料性能有明顯差異。在設(shè)計(jì)MEMS/NEMS器件和進(jìn)行可靠性分析時(shí)，迫切需要知道所用材料的力學(xué)性能參數(shù)，如彈性模量和斷裂強(qiáng)度等。目前微尺度結(jié)構(gòu)材料力學(xué)性能測試...
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