技術編號：5266069
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及半導體制造領域，具體涉及微納加工，尤其涉及一種。背景技術微電子機械系統(MEMS)是一種新型多學科交叉的技術，它涉及機械、電子、化學、物理、光學、生物、材料等多種學科。隨著MEMS工藝的發(fā)展，納米加工技術已經廣泛應用到微流體、生物工程和光學傳感器件等多個領域。在納米加工技術中，通常會出于不同目的，通過刻蝕或者其他多種工藝的結合，在襯底例如硅晶片內形成大范圍高密度均勻的納米結構(Nanopillar、Nanotip或Nanoporous),從而增加...
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